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品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 综合 |
HPR-80活泼性/腐蚀性气体分析仪应用:
• 等离子体/反应性离子蚀刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半导体晶片加工研究
• 真空、等离子体过程
• 活性物质定量分析
• HF,HCl,HBr,CFC 研究
HPR-80活泼性/腐蚀性气体分析仪特点:
• 加热的电抛光波纹管,快速偶合连结器
• 可清除的,带粘性流QIC校正的进样口用于定量分析
• 高灵敏度至 5 ppb, 质量数为 2500 amu.
• 进样压力从 1 mtorr 至大气压
• 电容压力计,压力检测可不受分析物影响
• 稳定性好 (24h之上,小于峰高±0.5% )
• 软件 MASsoft 控制
• 矩阵反演,归一化及单峰参考
上一产品:HMN-RC高压残余气体分析仪
下一产品:HPR-30过程气体分析仪
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